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200mm硅片产品

文章来源:有研科技集团有限公司   发布时间:2021-05-19

88.200mm硅片产品

【所属领域】关键材料

【中央企业名称】有研科技集团有限公司

【技术产品简介】200mm硅单晶抛光片是制造集成电路的核心基础材料。200mm重掺硅片是功率半导体器件的重要材料,其电阻率在毫欧姆厘米级别,可有效降低阻抗,公司产品被列为国家自主创新产品。Φ200mm轻掺抛光片是物联网、工业自动化、汽车领域辅助驾驶、电动汽车、电气设备等相关的嵌入式存储器、模拟电路(Analog)、图像传感器(CIS)、MCU(微控制单元)等制备所需核心关键材料,公司产品被列为2017年度中国半导体创新产品和技术。

【产品图片】

 

图1

 

图2

 

图3

【技术指标】

1.电阻率:1~100Ωcm

2.氧含量:8~16(ASTM83)

3.TTV—总厚度变化:<=5um

4.Bow—弯曲度:<=30um

5.Warp—翘曲度:<=30um

联系人:马飞 联系电话:15210365287

【责任编辑:王占朝】

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