200mm硅片产品
文章来源:有研科技集团有限公司 发布时间:2021-05-19
88.200mm硅片产品
【所属领域】关键材料
【中央企业名称】有研科技集团有限公司
【技术产品简介】200mm硅单晶抛光片是制造集成电路的核心基础材料。200mm重掺硅片是功率半导体器件的重要材料,其电阻率在毫欧姆厘米级别,可有效降低阻抗,公司产品被列为国家自主创新产品。Φ200mm轻掺抛光片是物联网、工业自动化、汽车领域辅助驾驶、电动汽车、电气设备等相关的嵌入式存储器、模拟电路(Analog)、图像传感器(CIS)、MCU(微控制单元)等制备所需核心关键材料,公司产品被列为2017年度中国半导体创新产品和技术。
【产品图片】
图1
图2
图3
【技术指标】
1.电阻率:1~100Ωcm
2.氧含量:8~16(ASTM83)
3.TTV—总厚度变化:<=5um
4.Bow—弯曲度:<=30um
5.Warp—翘曲度:<=30um
【责任编辑:王占朝】
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