88．200mm硅片产品

【所属领域】关键材料

【中央企业名称】有研科技集团有限公司

【技术产品简介】200mm硅单晶抛光片是制造集成电路的核心基础材料。200mm重掺硅片是功率半导体器件的重要材料，其电阻率在毫欧姆厘米级别，可有效降低阻抗，公司产品被列为国家自主创新产品。Φ200mm轻掺抛光片是物联网、工业自动化、汽车领域辅助驾驶、电动汽车、电气设备等相关的嵌入式存储器、模拟电路（Analog）、图像传感器（CIS）、MCU（微控制单元）等制备所需核心关键材料，公司产品被列为2017年度中国半导体创新产品和技术。

【产品图片】

 

图1

 

图2

 

图3

【技术指标】

1．电阻率：1~100Ωcm

2．氧含量：8~16（ASTM83）

3．TTV—总厚度变化：<=5um

4．Bow—弯曲度：<=30um

5．Warp—翘曲度：<=30um

联系人：马飞 联系电话：15210365287

【责任编辑：王占朝】