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上海微电子装备有限公司先进封装光刻机荣获第14届中国国际工业博览会金奖

文章来源:上海国资委  发布时间:2012-11-28

  上海微电子装备有限公司的先进封装光刻机在11月10日闭幕的第14届中国国际工业博览会上荣获金奖。这家企业研制的封装光刻机已经达到国际同等先进技术水平,累计申请发明专利180多项,国际发明专利5项。这家公司成立十几年来瞄准当代世界同领域最高水平和最新技术,集成创新,不断研制开发多系列光刻机,不少产品已经出口到国外。比如这次推出的用在LED上的先进光刻机,作为下一代绿色照明技术,是全球首款针对LED的光刻机。

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