9.MEMS气体传感器

【所属领域】核心电子元器件

【中央企业名称】中国兵器工业集团有限公司

【成果简介】MEMS气体传感器适用于室内空气质量监测、手机、电脑等消费类电子产品应用检测空气质量；也适用于呼出气体检测仪、室内烟雾报警等。MEMS气体传感器利用MEMS工艺在硅基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当传感器所处存在气体环境中时，传感器的电导率随空气中被检测气体的浓度而发生改变。该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。本产品采用MEMS工艺，结构坚固，抗震性好；具有尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快、驱动电路简单、稳定性好、寿命长等优点。技术成熟度9级。

【主要指标】

1.加热电阻：88Ω±5Ω

2.加热功耗：≤50mW

3.敏感体表面电阻：1KΩ~30KΩ（50ppm乙醇）

4.灵敏度：R0（空气）/RS（50ppm乙醇）≥3.0

【应用推广需求】

1.应用推广方式：销售、转让

2.应用推广领域：可在白电、消费电子、环境监测等行业应用推广。

【成果图片】

【联系人】

集团联系人：左睿，010-68963314，zuor@gfcn.cn 成果联系人：朱震星，18662470410，xing_1018@126.com

【责任编辑：家正】