39.薄膜压力传感器

【所属领域】核心电子元器件

【中央企业名称】中国电子科技集团有限公司

【成果简介】项目产品技术具有完全自有知识产权，48所1986年创作性提出采用离子束溅射技术制造薄膜压力传感器的技术路线，该路线与国外普遍采用的磁控溅射比较，具有膜层粘附力强，致密、均匀等特点，是先进的薄膜制备工艺路线。薄膜压力传感器广泛应用于航空、航天、石油、船舶等领域，具有高可靠、大量程、耐恶劣环境等特点。如：柴油发动机油轨压力监测、高精度大量程气压监测等。产品技术成熟度高，已经在包括飞船、商用卫星、导弹、火箭、飞机、航空发动机、战车、船舶等装备中得到广泛应用。

【主要指标】

1.精度：≤0.2%FS

2.灵敏度：≥1.5mV/V

3.过载压力：200%FS

4.热零点漂移：≤0.01%FS

5.热灵敏度漂移：≤0.015%FS

6.绝缘强度：≥200MΩ/500V

【应用推广需求】

1.应用推广方式：销售

2.应用推广领域：航空、石油、化工、钢铁、高铁、船舶等。

【成果图片】

【联系人】

集团联系人：丁一牧，010-84352395（13552993699），dingyimu@vip.163.com

成果联系人：邹书怡，13591325115，zousy@cs48.com

【责任编辑：家正】