239. 5G射频滤波芯片用高纯铝钪合金靶材

【所属领域】关键材料

【中央企业名称】中国有研科技集团有限公司

【成果简介】芯片制备的核心材料为氮化铝钪压电薄膜材料,亟需开展高纯铝钪合金靶材研究，实现技术突破。高纯铝钪合金靶材中钪含量高、易氧化，合金脆性大、成型困难，滤波器芯片制作难度大、验证困难，由有研亿金牵头，与有研稀土和中电26所联合攻坚，突破了高纯钪原材料制备、铸锭熔炼、组织/密度控制及高性能焊接等技术，实现了不同钪含量铝钪系列合金靶材开发，成功应用于高端滤波器件，有力地保障了我国高端滤波芯片产业链和供应链安全。技术成熟度达到8级。

【主要指标】

1. 钪含量：≥10at%

2. 靶材纯度：≥99.99%

3. 氧含量：≤200ppm

4. 相对密度：≥99%

5. 靶材直径：≥φ300mm

【应用推广需求】

1. 应用推广方式：销售

2. 应用推广领域：5G射频滤波芯片

【成果图片】

图1

图2 

图3 

【联系人】

集团联系人：王琳，010-82241928，wanglin@grinm.com 

成果联系人：罗俊锋，010-80103388，ljf@grikin.com 

【责任编辑：俞昭君】