5G射频滤波芯片用高纯铝钪合金靶材
5G射频滤波芯片用高纯铝钪合金靶材
文章来源:中国有研科技集团有限公司 发布时间:2023-05-20
239. 5G射频滤波芯片用高纯铝钪合金靶材
【中央企业名称】中国有研科技集团有限公司
【成果简介】芯片制备的核心材料为氮化铝钪压电薄膜材料,亟需开展高纯铝钪合金靶材研究,实现技术突破。高纯铝钪合金靶材中钪含量高、易氧化,合金脆性大、成型困难,滤波器芯片制作难度大、验证困难,由有研亿金牵头,与有研稀土和中电26所联合攻坚,突破了高纯钪原材料制备、铸锭熔炼、组织/密度控制及高性能焊接等技术,实现了不同钪含量铝钪系列合金靶材开发,成功应用于高端滤波器件,有力地保障了我国高端滤波芯片产业链和供应链安全。技术成熟度达到8级。
【主要指标】
1. 钪含量:≥10at%
2. 靶材纯度:≥99.99%
3. 氧含量:≤200ppm
4. 相对密度:≥99%
5. 靶材直径:≥φ300mm
【应用推广需求】
1. 应用推广方式:销售
2. 应用推广领域:5G射频滤波芯片
【成果图片】
图1
图2
图3
【联系人】
集团联系人:王琳,010-82241928,wanglin@grinm.com
成果联系人:罗俊锋,010-80103388,ljf@grikin.com
【责任编辑:俞昭君】