50. 多层外延CoolMOS器件系列产品

【所属领域】核心电子元器件

【中央企业名称】华润（集团）有限公司 

【成果简介】CoolMOS属于电荷平衡器件，在超结结构中，由于N区与P区中的电荷相互平衡，使得电场分布与传统MOSFET不同，器件纵向电场由三角形分布变成近矩形分布。因此，击穿电压仅仅依赖于外延层的厚度，而与掺杂浓度无关，这使得RON与击穿电压的关系得到很大改进，打破了传统结构的硅极限，由传统的平方关系变为线性关系。

CoolMOS是HVMOS的主要发展方向，Infineon在2000年左右已量产该类器件，目前已发展到第七代C7/P7产品，Rsp为8毫欧平方厘米(600V器件)，是业界量产的最好水平。

华润微最新的S5超结MOS平台是自主开发的第五代超结多层外延工艺平台，通过全新的元胞及终端设计，芯片面积较前一代缩小25%，成本降低20%，同时在导通损耗、开关损耗等方面较前一代有大幅的提升，实现更高的电源效率转换。对比Infineon C6产品，S5平台在比导通电阻Rsp上远优于C6系列接近P7系列产品，同时在FOM_Qgd优值上也较C6更优，产品性能处于国内领先国际一流的水平。

【主要指标】

1.击穿电压：600V～800V

2.电流：2A～83A

3.阈值电压：2V～4V

【应用推广需求】

1.应用推广方式：销售

2.应用推广领域：新能源汽车、充电桩、通信电源、服务器电源、光伏逆变、LED电源、TV电源、适配器、充电器、UPS等。

【成果图片】

图1

图2

图3

图4

【联系人】

集团联系人：杨华胜，15901036652，yanghuasheng03@crc.com.hk

成果联系人：张新，13771520470，zhangx@hj.crmicro.com

【责任编辑：俞昭君】