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电子级多晶硅

文章来源:国家电力投资集团有限公司  发布时间:2024-03-04

【成果简介】

电子级多晶硅是制造硅抛光片及高纯硅制品的主要原料,是信息产业和新能源产业最基础的原材料。公司产品质量指标远高于GB/T12963-2014电子1级品要求,经国内外20多家权威机构检测和上百次下游企业的评估、试用,产品质量完全满足分立器件研磨片、3-6英寸抛光片、8英寸、12英寸外延片和抛光片的制造要求,质量指标已与国外龙头企业相当,达到国际先进水平,完全可替代进口。公司经过十余年的系统研究,突破了副产物四氯化硅高效循环利用、三氯氢硅气体分离提纯、硅块表面金属和颗粒沾污清洗等一系列电子级多晶硅生产核心关键技术,并具有完全自主知识产权,实现了微电子单晶用多晶硅产品的规模化生产,目前,公司已成为国产电子级多晶硅生产的行业领军企业。

【主要指标】

(一)受主杂质含量:≤0.02ppba

(二)施主杂质含量:≤0.08ppba

(三)基体金属杂质总含量:≤1.5ppbw

(四)表面金属总含量:≤1.0ppbw

【应用推广需求】

(一)应用推广方式:销售

(二)应用推广领域:半导体大硅片生产企业

【成果图片】

电子级多晶硅产品

电子级多晶硅产品洁净封装

电子级多晶硅产品应用场景

【联系人】

集团联系人:王峥,18910729700,wangzheng@snerdi.com.cn

成果联系人:危胜,18697236833,weisheng@spic.com.cn

【责任编辑:贾建慧】

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