一、成果简介

本产品由沈阳仪表科学研究院有限公司开发，集成15项专利成果，获得2项国家级奖项、1项省部级奖项。产品突破高端薄膜器件膜系设计、工艺制造、精准检测等技术瓶颈，核心指标性能与同类产品相当，已在生物检测、集成电路装备等领域应用，销量超10万件。

二、主要指标

（一）峰值透射率＞93%；

（二）截止深度＞OD6；

（三）193nm反射率＞97%（45°）。

三、联系方式

马轶男，15142001850，tigerman7@163.com

【责任编辑：孙华宇】