一、成果简介

本产品由有研工程技术研究院有限公司开发，集成39项专利成果，可用于半导体靶材用超高纯金属原材料批量生产，所熔炼的超高纯金属铜、钽、钴、镍纯度分别达到99.9999%、99.9999%、99.999%和99.995%，超高纯铜、钽铸锭直径达到280mm、400mm。已应用于1600kW超高纯金属电子束熔炼炉项目。

二、主要指标

（一）最大功率：1600kW；

（二）电子枪功率：800kW；

（三）加速电压：60kV；

（四）最大偏转角：±45°；

（五）极限真空度：5×10-4Pa；

（六）升压率：0.67Pa/h。

三、联系方式

朱宝宏，13810118386，zhubh@grinm.com

【责任编辑：刘祉妤】