一、成果简介

本产品由郑州磨料磨具磨削研究所有限公司开发，集成10项专利成果，具有减薄砂轮、精密倒边轮、研磨抛光液等系列加工工具，加工效率较同类产品提升30%以上，产品价格降低50%以上，已在半导体制造企业推广应用。

二、主要指标

（一）减薄砂轮单次进刀量：达到0.8μm/s；

（二）加工工件TTV≤3μm；

（三）损伤层厚度＜2.7μm；

（四）倒边砂轮槽间距公差：±0.04mm；

（五）倒边砂轮槽底圆弧公差：±0.01mm；

（六）工件崩口＜30μm；

（七）倒边砂轮单槽寿命均值（6英寸计）：40～80件；

（八）倒边砂轮单槽寿命偏差≤5%；

（九）研磨抛光液磨料单颗粒分散稳定全悬浮时间≥6月；

（十）研磨抛光液抛光效率：0.8～1.0μm/h；

（十一）工件Ra≤0.2nm；

（十二）工件TTV≤3μm。

三、联系方式

闫 岩，18639029926，yyan10@126.com

【责任编辑：孙华宇】